[发明专利]一种硅基液晶屏贴合固化方法

摘要

本发明公开了一种硅基液晶屏贴合固化方法，它包括将硅晶圆输送承载到基板正压贴合机的硅晶圆承片托上并将其真空吸附在硅晶圆承片托上；将覆盖有图案框胶的氧化铟锡玻璃输送承载到基板正压贴合机的玻璃架上并将其吸附在所述玻璃架上；使硅晶圆正对覆盖有图案框胶的氧化铟锡玻璃设置；当硅晶圆与图案框胶之间形成紧密接触时就形成了由硅晶圆、图案框胶和氧化铟锡玻璃构成的硅基液晶屏；使吸附着硅基液晶屏的硅基液晶屏承载盘接近盖板架上的透明石英玻璃直至硅基液晶屏的氧化铟锡玻璃与透明石英玻璃紧密接触，同时接受点亮的紫外灯透过透明石英玻璃的紫外光照射而实现化学反应固化。采用本方法实现了常温条件下框胶固化，提高了硅基液晶屏组装品质。

主权项

一种硅基液晶屏贴合固化方法，其特征在于它包括以下步骤：(1)将硅晶圆(24)输送承载到基板正压贴合机的硅晶圆承片托(30)上并将其真空吸附在硅晶圆承片托(30)上；(2)将覆盖有图案框胶(37)的氧化铟锡玻璃(40)输送承载到所述基板正压贴合机的玻璃架(41)上并将其吸附在所述玻璃架(41)上；(3)将吸附着氧化铟锡玻璃(40)的所述玻璃架(41)逆时针旋转180度后，使硅晶圆正对覆盖有图案框胶(37)的氧化铟锡玻璃(40)设置；(4)在保持所述硅晶圆(24)与图案框胶(37)之间没有产生接触的状态下，移动两者之间的相对位置直至到达预定位置要求；(5)使吸附着硅晶圆(24)的所述硅晶圆承片托(30)接近所述吸附着氧化铟锡玻璃(40)的玻璃架(41)，直至所述硅晶圆(24)与图案框胶(37)之间形成紧密接触状态；(6)当所述硅晶圆(24)与图案框胶(37)之间形成紧密接触时就形成了至少由硅晶圆(24)、图案框胶(37)和氧化铟锡玻璃(40)构成的所述硅基液晶屏(46)，这时首先解除所述玻璃架(41)对所述氧化铟锡玻璃(40)的真空吸附，接着将所述玻璃架(41)再顺时针旋转180度后返回到初始位置，然后解除所述硅晶圆承片托(30)对所述硅晶圆(24)的真空吸附作用，将所述硅基液晶屏(46)从基板正压贴合机的硅晶圆承片托(30)上取下；(7)将所述硅基液晶屏(46)输送承载到紫外框胶曝光机的硅基液晶屏承载盘(53)上将硅基液晶屏(46)结构中的硅晶圆(24)与所述硅基液晶屏承载盘(53)相接触，然后将硅基液晶屏(46)吸附在所述硅基液晶屏承载盘(53)上；(8)内嵌有透明石英玻璃(61))的盖板架(62)逆时针至少旋转180度以后使得所述盖板架(62)的一端接触到曝光台A柱(58)，并与所述曝光台A柱(58)保持接触；(9)使吸附着所述硅基液晶屏(46)的所述硅基液晶屏承载盘(53)接近所述盖板架(62)上的透明石英玻璃(61)直至所述硅基液晶屏(46)的氧化铟锡玻璃(40)与所述透明石英玻璃(61)紧密接触；(10)在1～2个大气压的压力下保持所述硅基液晶屏(46)的氧化铟锡玻璃(40)与所述透明石英玻璃(61)紧密接触1分钟～10分钟并且使所述图案框胶(37)在承受来自所述硅晶圆(24)和氧化铟锡玻璃(40)的互作用力情况下，同时接受点亮的紫外灯(87)透过所述透明石英玻璃(61)的紫外光照射而实现化学反应固化；(11)当所述图案框胶(37)固化以后，这时将气缸放气使得吸附着所述硅基液晶屏(46)的所述硅基液晶屏承载盘(53)在自身重力的作用下离开所述盖板架(62)的内嵌所述透明石英玻璃(61)一定距离，接着将所述盖板架(62)绕所述曝光台铰链中轴线(48)顺时针至少旋转180度以后使得所述盖板架(62)的一端接触到曝光台C柱(63)，同时解除所述硅基液晶屏承载盘对所述硅基液晶屏(46)的吸附作用，完成框胶固化工艺过程。