[发明专利]一种硅基液晶屏贴合固化方法

说明书

技术领域

本发明涉及以硅基芯片为基板的液晶显示器的生产线中的硅基液晶屏贴合固化方法，特别涉及一种硅基液晶屏贴合固化方法。

背景技术

LCOS(Liquid Crystal on Silicon，硅基液晶)液晶显示技术是LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示)技术与CMOS(complementary metal oxide semiconductor，互补金属氧化物半导体)集成电路技术有机结合的反射型新型显示技术。首先在硅晶圆上运用CMOS工艺制作每行或每列的像素均拥有反射电极的LCOS芯片，然后将LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板保持适当距离贴合，且在LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板之间灌入液晶材料，并用适量封结胶把液晶材料固定在LCOS芯片与拥有透明电极的玻璃基板之间形成反射式液晶屏，通过传输不同电压于LCOS芯片上每行或每列的像素的反射电极，从而控制液晶材料导光强弱，实行对入射光的反射程度调制完成(灰度)图像显示。近年来迅速崛起的便携移动通讯及无线显示产品对硅基液晶屏的需求量日趋增大，硅基液晶屏固有的优点决定了移动显示产品的发展前景。目前批量生产硅基液晶屏的方法有(详见发明专利申请公开说明书(申请号200610032920.7)，发明名称“液晶显示器LCOS的制作方法及其压合装置”)：主要是在整片硅基板上制作LCOS液晶显示器，主要材料是，设计多个LCOS Die的整片的硅基板和作为硅基液晶显示器公共电极的氧化铟锡玻璃板，工作表面分别经过清洗和真空镀制SiO₂取向膜，然后在硅基板上涂布对应的液晶盒边框胶，再将氧化铟锡玻璃板贴合在硅基板上，经压合预固化和热固化后成一体，然后分别进行下表面(硅基板)锯割，上表面(玻璃)金刚刀划痕，再裂片成一个个液晶盒，经对液晶盒灌注后就成为成品。

此方法的缺陷是：采用热固化框胶，通常需要200度左右的稳定烘烤才能固化框胶，容易引发硅晶圆和玻璃出现形变差异，从而影响硅基液晶屏的品质；所述工序设备没有具体结构可循，因而缺乏实用价值。

目前硅基液晶屏生产线均采用热固化框胶。

发明内容

本发明的目的在于克服已有技术的不足，提供一种保证了氧化铟锡玻璃与硅晶圆的准确对位并实现常温固化的一种硅基液晶屏贴合固化方法。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种硅基液晶屏贴合固化方法，它包括以下步骤：

(1)将硅晶圆输送承载到基板正压贴合机的硅晶圆承片托上并将其真空吸附在硅晶圆承片托上；

(2)将覆盖有图案框胶的氧化铟锡玻璃输送承载到所述基板正压贴合机的玻璃架上并将其吸附在所述玻璃架上；

(3)将吸附着氧化铟锡玻璃的所述玻璃架逆时针旋转180度后，使硅晶圆正对覆盖有图案框胶的氧化铟锡玻璃设置；

(4)在保持所述硅晶圆与图案框胶之间没有产生接触的状态下，移动两者之间的相对位置直至到达预定位置要求；

(5)使吸附着硅晶圆的所述硅晶圆承片托接近所述吸附着氧化铟锡玻璃的玻璃架，直至所述硅晶圆与图案框胶之间形成紧密接触状态；

(6)当所述硅晶圆与图案框胶之间形成紧密接触时就形成了至少由硅晶圆、图案框胶和氧化铟锡玻璃构成的硅基液晶屏，这时首先解除所述玻璃架对所述氧化铟锡玻璃的真空吸附，接着将所述玻璃架再顺时针旋转180度后返回到初始位置放置，然后解除所述硅晶圆承片托对所述硅晶圆的真空吸附作用，将所述硅基液晶屏从基板正压贴合机的硅晶圆承片托上取下；

(7)将所述硅基液晶屏输送承载到紫外框胶曝光机的硅基液晶屏承载盘上将硅基液晶屏结构中的硅晶圆与所述硅基液晶屏承载盘相接触，然后将硅基液晶屏吸附在所述硅基液晶屏承载盘上；

(8)内嵌有透明石英玻璃的盖板架逆时针至少旋转180度以后使得所述盖板架的一端接触到曝光台A柱并与所述曝光台A柱保持接触；

(9)使吸附着所述硅基液晶屏的硅基液晶屏承载盘接近所述盖板架上的透明石英玻璃直至所述硅基液晶屏的氧化铟锡玻璃与所述透明石英玻璃紧密接触；

(10)在1～2个大气压的压力下保持所述硅基液晶屏的氧化铟锡玻璃与透明石英玻璃紧密接触1分钟～10分钟并且使所述图案框胶在承受来自所述硅晶圆和氧化铟锡玻璃的互作用力情况下，同时接受点亮的紫外灯透过所述透明石英玻璃的紫外光照射而实现化学反应固化；