[发明专利]硬质保护膜及其形成方法有效
| 申请号： | 201110252244.5 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102304692A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 山本兼司;久次米进 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0＜a≤0.4，0.05≤b≤0.35，0.25≤1-a-b≤0.9，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，或其组成为具有下面所规定原子比的(M1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y)，0.05≤a≤0.5，0.1＜b≤0.35，0≤x≤0.15，0≤y≤0.5，式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 保护膜 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种被覆于工具表面的硬质保护膜，其特征在于，所述硬质保护膜的组成为具有下面所规定原子比的(M1‑a‑bAlaSib)(BxCyN1‑x‑y)，0.05≤a≤0.50.1＜b≤0.350≤x≤0.150≤y≤0.5式中M表示Ti和Cr，所述硬质保护膜具有岩盐的晶体结构，所述硬质保护膜通过阴极电弧离子电镀法成膜，所述阴极电弧离子电镀法采用施加磁场的机构。
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