[发明专利]一种对硅片表面的硅浆进行腐蚀的化学腐蚀液及其腐蚀方法有效
| 申请号： | 201110242347.3 | 申请日： | 2011-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102312239A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 严金梅;杨伟强;王松 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司;晶澳（合肥）新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对硅片表面的硅浆进行腐蚀的化学腐蚀液，含以下体积百分含量的组分：NH4F水溶液40-43% HF水溶液8-10% H2O248-52%。该腐蚀液具有很强的腐蚀效果，且腐蚀速率稳定，能够实现对硅片表面的硅浆进行腐蚀的目的，且腐蚀液配制方便，重复性强；同时还公开了利用上述腐蚀液对硅浆进行腐蚀的方法，该方法工艺简单，反应过程容易控制，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 表面 进行 腐蚀 化学 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种对硅片表面的硅浆进行腐蚀的化学腐蚀液，其特征是含以下体积百分含量的组分：NH4F水溶液 40‑43% HF水溶液 8‑10% H2O2水溶液48‑52%。
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