[发明专利]延长抛光布垫使用寿命的方法无效
| 申请号： | 201110231904.1 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102343562A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 汪祖一;邹晓明 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24D13/00 | 分类号： | B24D13/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种延长抛光布垫使用寿命的方法，其特征在于，在抛光布垫使用过程中，使用KOH水溶液清洗抛光布垫。本发明中，利用KOH水溶液清洗抛光布垫，可有效去除抛光布垫表面沉积的物质，缓解抛光布垫表面的板结现象。使用本发明方法处理的抛光布垫使用1500分钟时的移除率，与未使用本发明方法处理的抛光布垫使用1200分钟时的移除率相同，也就是说本发明方法可将抛光布垫的使用寿命延长300分钟。 | ||
| 搜索关键词： | 延长 抛光 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
延长抛光布垫使用寿命的方法，其特征在于，在抛光布垫使用过程中，使用KOH水溶液清洗抛光布垫。
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