[发明专利]一种微型压电泵的制备方法有效
| 申请号： | 201110226589.3 | 申请日： | 2011-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN102306703A | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;闫肖肖;芮岳峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/24 | 分类号： | H01L41/24;F04B43/04 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微型压电泵的制备方法，首先在双抛双氧硅片上溅射一层铬铜种子层；在种子层上电镀金属作为压电陶瓷片的底层导电层；把压电陶瓷片连接在底层导电层上；减薄压电陶瓷片；在双抛双氧硅片背面开出二氧化硅的刻蚀窗口；刻蚀刻蚀窗口中的二氧化硅得到硅的刻蚀窗口；湿法刻蚀刻蚀窗口中的硅，得到泵的腔体；开出正面压电陶瓷片的刻蚀窗口；切出带压电陶瓷片的泵腔体；刻蚀未被光刻胶保护的压电陶瓷片得到压电陶瓷片的泵腔体；在泵腔体上粘接带有阀的PDMS腔体，PDMS腔体中的进口阀连接进液口，出口阀连接微针。本发明通过湿法刻蚀加工泵的腔体，方法简单，成本低；压电泵可以做的很小，可以控制微流量液体；工作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 压电 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微型压电泵的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，在双抛双氧硅片上溅射一层铬铜种子层；第二步，在种子层上电镀金属作为压电陶瓷片的底层导电层；第三步，把压电陶瓷片连接在底层导电层上；第四步，减薄压电陶瓷片；第五步，在双抛双氧硅片背面开出二氧化硅的刻蚀窗口；第六步，刻蚀刻蚀窗口中的二氧化硅得到硅的刻蚀窗口；第七步，湿法刻蚀刻蚀窗口中的硅，得到泵的腔体；第八步，开出正面压电陶瓷片的刻蚀窗口；第九步，切出带压电陶瓷片的泵腔体；第十步，刻蚀未被光刻胶保护的压电陶瓷片得到压电陶瓷片的泵腔体；第十一步，在泵腔体上粘接带有阀的PDMS腔体，PDMS腔体中的进口阀连接进液口，出口阀连接微针。
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