[发明专利]溅射靶材维护用管道系统无效
| 申请号： | 201110143567.0 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102808157A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 罗明新 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溅射靶材维护用管道系统，包括供水设备、供气设备、回水设备、若干阀装置及若干起连接作用的管道，所述管道包括接自供水设备的供水管、接自供气设备的吹气管、接入回水设备的回水管及接自靶材的排水管，所述供气设备通过吹气管连入靶材内，所述靶材通过所述回水管和排水管两路接入所述回水设备，所述排水管的末端设有一接入所述回水设备的尾管。相较于现有技术，本发明利用排水管末端的尾管接入回水设备，有效地避免了纯水被作为废水处理而形成的浪费，也省去了人工操作处理盛水、降低污染。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 维护 管道 系统 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材维护用管道系统，包括供水设备、供气设备、回水设备、若干阀装置及若干起连接作用的管道，所述管道包括接自供水设备的供水管、接自供气设备的吹气管、接入回水设备的回水管及接自靶材的排水管，其特征在于：所述供气设备通过吹气管连入靶材内，所述靶材通过所述回水管和排水管两路接入所述回水设备，所述排水管的末端设有一接入所述回水设备的尾管。
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