[发明专利]含2,1,4-重氮萘醌磺酸酚酯的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明涉及一种化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂组合物，主要包括(A)N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物或丙烯海松酸酯缩醛聚合物和(B)由2，1，4-重氮萘醌磺氯和多元酚化合物酯化得到的2，1，4-重氮萘醌磺酸酚酯感光剂，该感光剂在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解，还可以产生少量磺酸并导致酯缩醛聚合物发生酸解，因而也起光产酸剂的作用。此种化学增幅型正性感光成像材料，具有感度及分辨率高、反差大、显影宽容性好等优点，可用作超大规模集成电路加工用高性能i-线正性光致抗蚀剂。

主权项

1.一种化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物，其包括以下组分：(A)60wt％-90wt％N-羟基马来海松酸酰亚胺酯缩醛聚合物或丙烯海松酸酯缩醛聚合物，分别如下通式(I)、(II)所示：聚合物(I)为N-羟基马来海松酸酰亚胺与各种二乙烯基醚反应所得的产物，聚合物(II)为丙烯海松酸与各种二乙烯基醚反应所的产物，这二类聚合物的数均分子量均在3500-15000的范围内；其中，R1为：或者为：此时，m＝2-6；或者为：-CH₂CH₂OCH₂CH₂-；(B)10wt％-40wt％2，1，4-重氮萘醌磺酸酯感光剂，如下通式(III)所示：其中，m为1-4，R₂为衍生于含有酚羟基化合物酯化母体或接枝母体的残基；(C)2wt％以下的添加剂；以上所有百分数基于所述抗蚀剂组合物除溶剂外的总质量，且其总和为100wt％；(D)有机溶剂。