[发明专利]均热处理装置有效

专利信息
申请号: 201080069337.8 申请日: 2010-10-01
公开(公告)号: CN103140919A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 宇野淳一;山蔭久明;舩引猛;山田义人 申请(专利权)人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
主分类号: H01L21/324 分类号: H01L21/324
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 马淑香
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种均热处理装置,能实现加热处理对象物的均匀加热和装置的小型化。均热处理装置包括:板(1),该板(1)在内部形成有封入工作液(31)的热管回路(2);以及加热元件(3),该加热元件(3)对工作液(31)进行加热。热管回路(2)包括集管部和多个歧管部,其中,所述集管部用于使工作液(31)被加热而汽化,多个所述歧管部是从集管部分岔而形成的,用于使工作液(31)汽化后形成的蒸汽(33)与板(1)进行热交换而冷凝。加热元件(3)设置在集管部的、在加热元件(3)对工作液(31)进行加热时与工作液(31)接触的蒸发面(12)一侧。
搜索关键词: 均热 处理 装置
【主权项】:
一种均热处理装置,其特征在于,包括:板(1),该板(1)在内部形成有热管回路(2),在该热管回路(2)中封入有工作液(31);以及加热元件(3),该加热元件(3)对所述工作液(31)进行加热,所述热管回路(2)包括集管部(2b)和多个歧管部(2a),其中,所述集管部(2b)用于使工作液(31)被加热而汽化,多个所述歧管部(2a)是从所述集管部(2b)分岔而形成的,用于使所述工作液(31)汽化后形成的蒸汽(33)与所述板(1)进行热交换而冷凝,所述加热元件(3)设置在所述集管部(2b)的、在所述加热元件(3)对所述工作液(31)进行加热时与所述工作液(31)接触的壁面(12)一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东芝三菱电机产业系统株式会社,未经东芝三菱电机产业系统株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201080069337.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top