[发明专利]带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法有效
| 申请号： | 201080053246.5 | 申请日： | 2010-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102668014A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 千野肇;绵引胜;岩谷彻 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 樊建中 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的带电粒子显微镜系统的特征在于，将带电粒子显微镜的操作项目限定于显示在GUI画面(2)上的控制按钮中的项目。若用户在带电粒子显微镜的GUI画面(2)上仅操作了一次与希望的观察条件相对应的控制按钮(41、42、43)，则能够根据所述观察条件，设定保存在表中的电子光学条件，并进行测定。由此，能够提供直观且容易操作的带电粒子显微镜用的图形用户界面环境。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种带电粒子显微镜系统，其特征在于，具有：显示画面，其显示图形用户界面(GUI)；计算机，其执行该图形用户界面的画面显示处理；和带电粒子显微镜，其具备带电粒子光学镜体、和对在所述图形用户界面上被指示的指示内容进行解释来对所述带电粒子光学镜体进行控制的控制装置，所述计算机具备：观察条件文件，其记载了与显示在所述图形用户界面上的对象相关联的多个带电粒子显微镜的调整项目的设定值；和处理器，其执行将该观察条件文件的记载内容变换为所述控制装置能够理解的形式的处理。
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