[实用新型]高温碳化硅单晶生长炉的加热温控装置

摘要

本实用新型公开了一种高温碳化硅单晶生长炉的加热温控装置。该装置包括：感应线圈，用于接收无线射频发生器发射的中频交变电流，并对密闭坩埚内的生长系统进行加热；感应线圈移动系统，连接至感应线圈，用于对感应线圈进行定位、和/或定速控制；可编程逻辑控制器，连接至感应线圈移动系统，用于根据预先设置的控制程序控制感应线圈移动系统；温度检测装置，用于检测生长系统的温度；欧陆表，连接至温度检测装置，用于控制生长系统的温度；终端计算机，连接至可编程逻辑控制器以及欧陆表，用于对可编程逻辑控制器以及欧陆表进行控制。借助于本实用新型的技术方案，能够对生长系统的温度进行精确控制。

主权项

一种高温碳化硅单晶生长炉的加热温控装置，其特征在于，包括：感应线圈，用于接收无线射频发生器发射的中频交变电流，并对密闭坩埚内的生长系统进行加热；感应线圈移动系统，连接至所述感应线圈，用于对所述感应线圈进行定位、和/或定速控制；可编程逻辑控制器，连接至所述感应线圈移动系统，用于根据预先设置的控制程序控制所述感应线圈移动系统；温度检测装置，用于检测所述生长系统的温度；欧陆表，连接至所述温度检测装置，用于控制所述生长系统的温度；终端计算机，连接至所述可编程逻辑控制器以及所述欧陆表，用于对所述所述可编程逻辑控制器以及所述欧陆表进行控制。