[实用新型]间距测量装置有效
| 申请号： | 201020505234.9 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201844805U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李光旺;李向辉;王杨;秦国强;周成志 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种间距测量装置，至少包括位于一端的测量部和另一端的把持部，其中，所述测量部包含多个测量端子，每个测量端子分别对应于一种宽度值；所述多个测量端子沿自所述测量部向所述把持部的方向依次呈阶梯状分布。本实用新型间距测量装置各实施方式结构简单，应用方便，能够有效地提高生产效率，并且通过调整各测量端子之间宽度间隔，能够改善测量的精准度，提高产品成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 间距 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种间距测量装置，至少包括位于一端的测量部和另一端的把持部，其特征在于，所述测量部包含多个测量端子，每个测量端子分别对应于一种宽度值；所述多个测量端子沿自所述测量部向所述把持部的方向依次呈阶梯状分布。
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