[实用新型]间距测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造工艺，特别是间距测量装置。

背景技术

在高温氧化反应中，所生成的氧化膜的厚度对于器件而言非常关键。在实际生产过程中，所生成的氧化膜的厚度受到高温氧化炉外管、内管、晶舟和基座的影响，尤其是内管的尺寸和安装位置。此外，晶舟和内管的相对位置发生改变，会对炉口压力产生影响，使后者也随之产生变化，从而容易对生产过程形成隐患。因此，高温氧化生产过程中，能否对晶舟和内管位置进行准确的调整和及时的校正，影响到产品合格率，甚至影响到生产安全。

现有技术中，通常采用人工手动调整晶舟相对于内管的位置。由于晶舟与内管不在同一个平面上，一般来说，在传统方法中，通过直尺沿晶舟一图测量晶舟与内管之间的距离，因此常采用一些近似的测量方法对晶舟与内管之间的间距进行测量。例如，参考图1，采用传统测量工具，在若干测量点，对晶舟基座上所放置的隔热片与晶舟立柱之间的间距进行测量。

然而，由于间距的数量级较小，例如一般在毫米级，并且数目不大，采用传统测量工具进行的测量和估计的方式过程，通常既费时又不方便，也达不到较高的精确度，严重影响了生产效率，进而有可能会影响到产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种间距测量装置，以便更加便利、准确地测量晶舟和内管之间的距离，节约测试时间。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种间距测量装置，至少包括位于一端的测量部和另一端的把持部，其中，所述测量部包含多个测量端子，每个测量端子分别对应于一种宽度值；所述多个测量端子沿自所述测量部向所述把持部的方向依次呈阶梯状分布。

相较于现有技术，本实用新型间距测量装置各实施方式结构简单，应用方便，能够有效地提高生产效率，并且通过调整各测量端子之间宽度间隔，能够改善测量的精准度，提高产品成品率。

附图说明

图1为现有技术对晶舟和内管之间间隔进行测量的结构示意图；

图2为本实用新型间距测量装置一种实施方式的结构示意图；

图3为本实用新型间距测量装置一种具体实施例的结构示意图；

图4为应用图3所示本实用新型间距测量装置一种具体实施例进行测量的结构示意图。

具体实施方式

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

其次，本实用新型利用示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

下面结合附图和具体实施例，对本实用新型实施方式做进一步详细说明。

参考图2，本实用新型提供了一种间距测量装置100，至少包括位于一端的测量部110和另一端的把持部120，其中，测量部110包含多个测量端子101，每个测量端子101分别对应于一种宽度值，多个测量端子101沿自测量部110向把持部120的方向依次呈阶梯状分布。

在具体实施方式中，所述测量端子的截面形状可配合晶舟与内管之间的间隔而设计。所述测量端子的界面形状包括但不限制为：矩形、圆形、椭圆形；其也可为不规则形例如，矩形与圆形的组合，即，平行于宽度方向上的一组对边为部分圆形且垂直于宽度方向上的一组对边为矩形直边。

在实际应用过程中，依次尝试将对应于不同宽度的测量端子分别插入至晶舟与内管之间，观察所述测量端子的宽度和晶舟与内管的间距之间的差距，通过设置各测量端子宽度之间的间隔，能够快速地确定晶舟与内管之间的间距范围。当将各测量端子宽度之间的间隔设置为晶舟与内管之间间距的精度要求时，使用所述间距测量装置，通过当前所适用的测量端子对应的宽度，能够得到晶舟与内管之间的间距的值。

具体来说，当当前测量端子能够插入晶舟与内管之间时，即当前测量端子的宽度小于晶舟与内管的间距，此时，观察后一个相邻的测量端子是否仍旧能够插入其中，即后一个相邻的测量端子的宽度是否仍旧小于晶舟与内管之间的间距。当当前测量端子能够插入晶舟与内管之间，且后一个相邻的测量端子的宽度大于晶舟与内管之间的间距时，当前测量端子即为当前适用的测量端子，其所对应的宽度与后一个相邻测量端子所对应的宽度即为所述晶舟与内管之间的间距的范围。

其中，将所述测量端子插入至晶舟与内管之间是指，所述测量端子一侧表面贴合或外切于所述晶舟的贴近内管的外侧表面。