[发明专利]一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201010594825.2 | 申请日： | 2010-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102011090A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;陈锋光;孙丽丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 | 代理人： | 张文忠;任汉平 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层及其制备方法，该基体与TiAlN/TiAlCN多层膜涂层之间为过渡涂层，该多层膜涂层由TiAlN膜与TiAlCN膜交替层叠形成周期排列，在一个周期中，TiAlN膜与TiAlCN膜的厚度之和为1纳米～20纳米，TiAlCN膜中C原子的原子百分含量为0.1％～5％。本发明的多层膜涂层具有高硬度、低内应力以及高韧性，能够提高基体的切削效率与抗腐蚀性，延长基体的使用寿命。本发明通过高功率脉冲磁控溅射技术沉积该多层膜涂层，克服了阴极电弧离子镀沉积速率太快无法制备纳米外延膜，以及直流磁控溅射制备薄膜过程中发生靶中毒的问题，通过调节基体的自转和公转速率以及调节对靶的数量，达到控制纳米调制周期的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 tialn tialcn 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基体表面的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层，基体与TiAlN/TiAlCN多层膜涂层之间为过渡涂层，其特征是：所述的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层由TiAlN膜与TiAlCN膜交替层叠形成周期排列；所述的TiAlN/TiAlCN多层膜涂层的一个周期中，TiAlN膜与TiAlCN膜的厚度之和为1纳米～20纳米；所述的TiAlCN膜中C原子的原子百分含量为0.1％～5％。
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