[发明专利]等离子体离子源的发生装置有效
| 申请号： | 201010579490.7 | 申请日： | 2010-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102573260A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陈应;徐国宾;杨芃原 | 申请（专利权）人： | 上海华质生物技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J49/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200433 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种应用于质谱仪的等离子体离子源的发生装置，包括：等离子体发生腔体，包括作为等离子体发生区的腔室；高压射频源，包括电源以及设于所述等离子体发生腔体外表面的射频电极；与所述等离子体发生腔体相通的传输结构，用于将样品气体和载气引入到所述等离子体发生腔体中；密封件，用于密封所述传输结构与所述等离子体发生腔体之间的连通，为所述等离子体发生腔体提供真空环境。相较于现有技术，本发明的等离子体离子源的发生装置，利用等离子体发生腔体，在低真空环境下可以产生出高密度的等离子体离子源。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子源 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体离子源的发生装置，应用于质谱仪中，其特征在于，所述发生装置包括：等离子体发生腔体，包括作为等离子体发生区的腔室；高压射频源，包括电源以及设于所述等离子体发生腔体外表面的射频电极；与所述等离子体发生腔体相通的传输结构，用于将样品气体和载气引入到所述等离子体发生腔体中；密封件，用于密封所述传输结构与所述等离子体发生腔体之间的连通，为所述等离子体发生腔体提供真空环境。
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