[发明专利]一种抑制光衰减的掺锗晶体硅太阳电池及其制备有效

专利信息
申请号: 201010509992.2 申请日: 2010-10-18
公开(公告)号: CN102005506A 公开(公告)日: 2011-04-06
发明(设计)人: 杨德仁;王朋;余学功;阙端麟 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/04;H01L31/0288
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种抑制光衰减的掺锗晶体硅太阳电池及其制备,其制备方法包括:在多晶硅原料中掺入锗和硼,锗的浓度为1018~1021cm-3,硼的浓度为1015~1017cm-3,然后在保护气氛下,生长掺锗的晶体硅;将生长得到的晶体硅切片后,进行太阳电池的制备,包括:对切片后得到的硅片进行清洗和制绒;制绒后进行磷扩散;进行刻蚀及减反射膜的沉积;最后制备电极并烧结,得到掺锗晶体硅太阳电池。本发明方法简单,成本低廉,实现了整个太阳电池制备与常规工艺的兼容,制备出有效抑制光衰减的掺锗晶体硅太阳电池。
搜索关键词: 一种 抑制 衰减 晶体 太阳电池 及其 制备
【主权项】:
一种抑制光衰减的掺锗晶体硅太阳电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在多晶硅原料中掺入锗和硼,锗的浓度为1018~1021cm‑3,硼的浓度为1015~1017cm‑3,然后在保护气氛下,生长掺锗的晶体硅;(2)将步骤(1)生长得到的晶体硅切片后,进行太阳电池的制备,包括:对切片后得到的硅片进行清洗和制绒;制绒后进行磷扩散;进行刻蚀及减反射膜的沉积;最后制备电极并烧结,得到掺锗晶体硅太阳电池。
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