[发明专利]等离子反应内室的侧部气体喷射器有效
| 申请号： | 201010284827.1 | 申请日： | 2010-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102034666A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 金珉植;高诚庸;蔡焕国;朴根周;金起铉;李元默 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州弘邦专利商标事务所有限公司 44236 | 代理人： | 张钇斌 |
| 地址： | 韩国京畿道水原市灵通*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子反应内室的侧部气体喷射器。该侧部气体喷射器一块圆形均匀板和一块盖板。所述的圆形均匀板包括一个注入反应气体的喷射孔和一个分布反应气体的均匀通道部件，该均匀通道部件使从喷射孔进入的反应气体呈辐射状同时注入到均匀板的内圆周表面上多个位置处。所述的盖板与均匀板顶部相连，密封了均匀通道部件的顶部。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 反应 内室 气体 喷射器 | ||
【主权项】：
一种等离子反应内室的侧部气体喷射器，包括：一块圆形均匀板，其包括一个喷入反应气体的喷射孔和一个使反应气体均匀分布的均匀通道部件，该部件使那些从喷射孔喷入的反应气体呈辐射状地同时喷入到均匀板的内圆周表面上多个位置处；和一块与均匀板顶部相连的盖板，它密封了均匀通道部件的顶部。
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