[发明专利]光电型生化量半导体传感器的封装设计有效
申请号: | 201010247806.2 | 申请日: | 2010-08-09 |
公开(公告)号: | CN101975805A | 公开(公告)日: | 2011-02-16 |
发明(设计)人: | 贾芸芳 | 申请(专利权)人: | 南开大学 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26;H01L31/0203 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300071*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 光电型生化量半导体传感器的封装设计,属于半导体生化传感器中器件封装领域。本发明以机械加工、电路版制作、以及注塑工艺为技术基础,提出了可满足光电型生化量传感器对光照、电气连接、液态环境工作三方面要求的封装设计。光电型生化量半导体传感器的封装设计,由芯片基座、储液装置两部分构成。芯片基座的上部为敏感探头,中部设有中部平台,下部设有光源插孔。敏感探头上表面设有传感器芯片插接孔,内部设有导电通孔。中部平台设有可延展支架、电极固定穿孔、排线插接孔、Cu布线层等。储液装置包括储液装置主体、弹性密封胶圈和紧固套环。储液装置主体的上部设有两个电极固定穿孔和一个光源插孔,内部为储液腔,底部设有接触窗口,侧壁设有进液通孔和出液通孔。 | ||
搜索关键词: | 光电 生化 半导体 传感器 封装 设计 | ||
【主权项】:
光电型生化量半导体传感器的封装设计,包括芯片基座、电路板、储液装置,紧固套环四部分。
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