[发明专利]高陡度镜面的离子束抛光方法

摘要

本发明公开了一种高陡度镜面的离子束抛光方法，包括以下步骤：(1)测算镜面各点的入射角θ；(2)根据模型确定各点的补偿系数K；(3)利用干涉法测定工件的初始面形误差E；(4)根据K对E进行补偿得到补偿面形误差E′；(5)通过去除函数实验获得离子束垂直入射镜面时的去除函数R；(6)根据E′和R确定出驻留时间分布T并生成数控代码；(7)利用去除函数的发生装置和生成的数控代码进行加工，加工时离子束沿平行于工件光轴方向入射镜面，通过三轴联动系统对镜面进行修形；(8)重复前述步骤直至修形结果满足面形收敛精度的要求。本发明方法在加工高陡度镜面时具有操作简单、稳定性好、加工精度高、可控性强、对设备要求低等优点。

主权项

1.一种高陡度镜面的离子束抛光方法，包括以下步骤：(1)测算入射角：取一具有高陡度镜面的待抛光工件，在垂直于工件光轴的平面内建立X-Y直角坐标系，根据高陡度镜面的曲面方程z＝h(x，y)，测算镜面各点法线与垂直入射离子束的夹角，即入射角θ；(2)确定补偿系数分布：根据模型P(x，y)＝(1/n)Y₀(θ)cosθf(xcosθ，y)，确定待抛光工件各加工点相对应的补偿系数K，记为K(θ)；(3)测定初始面形误差：利用干涉法测定所述待抛光工件的初始面形误差E，记为E(x，y)；(4)补偿初始面形误差：根据步骤(2)中确定的补偿系数分布对所述初始面形误差E进行补偿，得到补偿面形误差E′，E′＝E(x，y)/K_ij(θ)；(5)获得去除函数：通过去除函数实验获得离子束垂直入射相同材料镜面时的去除函数R(x，y)；(6)确定驻留时间分布T：根据步骤(4)中确定的补偿面形误差E′和步骤(5)中获得的去除函数R(x，y)，利用现有加工平面镜时的驻留时间算法确定出驻留时间分布T并生成数控代码；(7)离子束抛光加工：利用所述去除函数的发生装置和生成的驻留时间数控代码对所述待抛光工件进行离子束抛光加工，加工过程中离子束沿平行于工件光轴方向垂直入射镜面，通过所述去除函数发生装置的三轴联动系统对镜面进行修形；(8)迭代抛光加工：重复上述步骤(1)～步骤(7)的工艺过程，直至步骤(7)的修形结果满足面形收敛精度的要求，加工结束。