[发明专利]CIGS太阳能电池制程的设备及方法无效
| 申请号： | 201010228399.0 | 申请日： | 2010-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102312197A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 李延炜 | 申请（专利权）人： | 冠晶光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C16/448;C23C16/30;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 中国台湾台中县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于CIGS太阳能电池制程的设备及方法，包含缓冲腔体、第一腔体、第二腔体以及机械装置。该第一腔体邻设于该缓冲腔体并具有一镀膜沉积装置；该第二腔体邻设于该缓冲腔体并具有一热处理装置。该热处理装置包含一基座、一储存槽、一第一加热器、一导引管以及一盖板。该基座用以定位一基板。储存槽位于第二腔体外，用以容置一熔融材料；该第一加热器用以加热熔融材料；该导引管一端枢接储存槽，另一端位于第二腔体中。盖板设置于导引管位于第二腔体中的开口端所对应处，其中盖板还设有一可调式开孔。该机械装置用以带动基板往复移动于缓冲腔体、第一腔体以及第二腔体间。 | ||
| 搜索关键词： | cigs 太阳能电池 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于CIGS太阳能电池制程的设备，其特征在于，包含：一缓冲腔体；一第一腔体，邻设于该缓冲腔体并具有一镀膜沉积装置；一第二腔体，邻设于该缓冲腔体并具有一热处理装置，其中该热处理装置包含：一基座，用以定位一基板；一储存槽，设于该第二腔体外，用以容置一熔融材料；一第一加热器，用以加热该熔融材料；以及一导引管，该导引管的一端枢接于该储存槽，另一端位于该第二腔体中；以及一盖板，该盖板设置于该导引管位于该第二腔体中的开口端所对应处，其中该盖板还设有一可调式开孔；一机械装置，用以带动该基板往复移动于该缓冲腔体、该第一腔体以及该第二腔体间。
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