[发明专利]MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201010223810.5 | 申请日： | 2010-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101915871A | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;张志强 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法，所述微波功率传感器包括砷化镓衬底、主线CPW、副线CPW、MEMS固支梁式结构和终端微波功率监测系统：所述MEMS固支梁式结构包括固支梁和锚区，固支梁横跨在主线CPW信号线的上方，固支梁的两端固定在锚区上，锚区通过副线CPW信号线而不是CPW地线与终端微波功率监测系统相连接；所述固支梁结构下方设有驱动电极。本发明的MEMS固支梁式在线微波功率传感器，不但具有终端式微波功率传感器的优点，如低损耗和高灵敏度，而且具有在线微波功率测量、实现监测和不监测两种状态、多种耦合度的在线微波功率传感器的集成以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。 | ||
| 搜索关键词： | mems 固支梁式 在线 微波 功率 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS固支梁式在线微波功率传感器，其特征在于：所述微波功率传感器包括砷化镓衬底(1)、CPW、MEMS固支梁式结构和终端微波功率监测系统(6)；所述CPW包括主线CPW信号线(7)、副线CPW信号线(8)和CPW地线(9)，所述主线CPW信号线(7)和CPW地线(9)构成主线CPW，所述副线CPW信号线(8)和CPW地线(9)构成副线CPW；所述MEMS固支梁式结构包括固支梁(3)和锚区(12)，所述固支梁(3)横跨在主线CPW信号线(7)的上方，固支梁(3)的两端固定在锚区(12)上，所述锚区(12)通过副线CPW信号线(8)与终端微波功率监测系统(6)相连接；所述固支梁式结构下方设有驱动电极(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010223810.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
