[发明专利]聚焦镜组及激光加工应用光学系统有效
| 申请号： | 201010211576.4 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101893751A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李家英;周朝明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/14 | 分类号： | G02B13/14;G02B13/18;B23K26/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种聚焦镜组及激光加工应用光学系统，该聚焦镜组包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。本发明对激光加工系统所使用的紫外激光和照明系统所使用的可见照明光消色差，将紫外激光聚焦点和可见照明光聚焦点点重合为一个，消除色差对成像监控系统成像的干扰，使成像监控系统能够清晰，准确的对加工位置进行监控、定位，保证紫外加工的准确性和质量。同时，还可采用可见照明光聚焦点对紫外激光聚焦点进行对准，对待加工工件位置进行精确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 激光 加工 应用 光学系统 | ||
【主权项】：
一种聚焦镜组，其特征在于，包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，所述聚焦镜组第一透镜与聚焦镜组第二透镜均为弯月型透镜，且曲面均朝向紫外激光出射方向弯曲；所述聚焦镜组第三透镜与聚焦镜组第四透镜为双凸型透镜；所述聚焦镜组第五透镜为双凹型透镜，所述聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。
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