[发明专利]一种CuAlO2靶材的制备方法

摘要

本发明是一种CuAlO2靶材的制备方法。将Cu2O粉、Al2O3粉按照摩尔比为1∶1进行配料；或CuO粉、Al2O3粉、Cu粉按照摩尔比为1∶1∶1进行配料；装入球磨罐中进行机械合金化处理，球磨时间8-20小时，将处理好的粉料装入塑胶模具中，再采用压制压力200MPa、保压3-5分钟进行冷等静压成形；成形好的素坯进行无压氧气氛烧结，获得CuAlO2靶材。该方法增强了原料颗粒表面的活性及原料颗粒接触面的新鲜度，使靶材成形密度和烧结密度得到进一步提高；并通过控制烧结炉炉膛的氧分压，抑制了CuAlO2靶材在特定烧结温度条件下的分解，最终获得致密的高于99.6％、具有高导电性能的CuAlO2靶材。具有烧结设备简单，成本低，易控制，生产清洁等优点。

主权项

一种CuAlO2靶材的制备方法，其特征在于按以下步骤进行：1)原料成分、粒度及其所占重量百分比：Cu2O粉、CuO粉、Al2O3粉、Cu粉；粉末粒度小于45微米；Cu2O粉、Al2O3粉按照摩尔比为1∶1进行配料；或CuO粉、Al2O3粉、Cu粉按照摩尔比为1∶1∶1进行配料；2)将配好的料装入球磨罐中进行机械合金化处理，球磨时间8‑20小时，将处理好的粉料装入塑胶模具中，并用超声波震密实，再采用压制压力200MPa、保压3‑5分钟进行冷等静压成形；3)成形好的素坯装入烧结炉进行无压氧气氛烧结，烧结工艺为：升温速率为50‑500℃/h，保温范围900‑1300℃，保温时间5‑15小时，获得CuAlO2靶材。