[发明专利]一种准分子激光微加工系统的光路调节架

摘要

一种准分子激光微加工系统的光路调节架，用于MEMS加工，属于微纳米科学与技术领域。本发明由钢架、固定在钢架上的悬挂平台(11)、安装在悬挂平台(11)上的平移调整台(13)，安装在平移调整台(13)上的转动调整台(14)，安装在转动调整台(14)上的物镜(16)组成。通过调节钢架的高度来调节物镜(16)垂直方向的位置；通过调节平移调整台(13)来调节物镜(16)在水平方向的位置，通过调节转动调整台(14)来调节物镜(16)的转动角度，实现竖直方向准分子激光光路的调整。并且设有竖直方向胀紧器(15)对调整好位置的平移调整台(13)进行固定。本发明结构稳定，操作简便，易于实现工业级准分子激光微加工。

主权项

一种准分子激光微加工系统的光路调节架，该调节架由可固定于光学平台上的钢架构成，其特征在于：该钢架至少有两层结构，高度80cm以上，顶层有向外凸出的悬台；底层设有螺丝孔，可使螺钉(10)穿过螺丝孔后拧入光学平台螺纹孔中，顶层设有光具导轨(7)至悬台；在悬台处设有向下的通光孔(6)，通光孔(6)上设有将水平光线反射成垂直光线穿过通光孔(6)的反射镜；通光孔(6)下设置有悬挂平台(11)，悬挂平台(11)中心为方形口(12)，其上安装物镜(16)，且物镜(16)通过竖直光路调整器安装在悬挂平台(11)上；该竖直光路调整器包括平移调整台(13)和旋转调整台(14)；所述平移调整台(13)为中心设有透光孔的方形平台，平移调整台(13)置于悬挂平台(11)上面，悬挂平台(11)四边的中部设有向上折起的边沿——耳，在各耳中垂直耳的方向通过螺孔设长细牙螺杆(17)，四面的长细牙螺杆(17)顶住平移调整台(13)的四边侧面，长细牙螺杆(17)通过旋转移动，来调节平移调整台(13)的位置；平移调整台(13)的四角处分别设有一个竖直方向胀紧器(15)顶在平移调整台(13)和钢架的顶层之间，来固定平移调整台(13)的位置；所述旋转调整台(14)为中心设有透光孔的方形平台，安装在平移调整台(13)下面，且位于悬挂平台(11)的方形口(12)中；旋转调整台(14)用一对相邻的垫有碟片弹簧(19)的连接螺栓与平移调整台(13)连接，且连接处夹有一个钢球(20)；在旋转调整台上取两个相距较远的位置，且这两个位置距钢球(20)也较远，在对应这两个位置的平移调整台(13)上通过螺孔设两个短细牙螺杆(18)，两个短细牙螺杆(18)顶在旋转调整台(14)上，通过旋转短细牙螺杆(18)可调整平移调整台(13)与旋转调整台(14)在短细牙螺杆(18)处的间距，来调整旋转调整台(14)以钢球(20)为轴点的转动；物镜(16)固定在旋转调整台(14)的透光孔下面。