[发明专利]一种半导体专用设备的弹性传感装置有效
| 申请号： | 201010190145.4 | 申请日： | 2010-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101881636A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张敏杰;衣忠波;马林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传感装置，特别是一种半导体专用设备的弹性传感装置。本发明包括压销，安装板，轴用弹性挡圈，弹簧，传感器支座，传感器。轴用弹性挡圈固定在压销的槽内，弹簧装套在压销上后，将压销放入传感器支座，传感器通过螺钉固定在传感器支座上，压销穿过安装板将传感器支座固定在安装版上，将弹簧封闭在传感器支座内。本发明具有结构紧凑，安装简单，应用方便的特点，是可以广泛应用于半导体专用设备的传感装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 专用设备 弹性 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体专用设备的弹性传感装置，其特征在于：其包括压销(1)，安装板(2)，轴用弹性挡圈(3)，复位弹簧(4)，传感器支座(5)，传感器(6)；所述安装板(2)固定在传感器支座(5)之上，传感器支座(5)下固定有传感器(6)；传感器支座(5)中央设有能穿过压销(1)并能放入复位弹簧(4)的沉孔，压销(1)穿过安装板(2)中央的通孔，压销(1)下部伸入传感器支座(5)上设置的沉孔中，压销(1)上固定有轴用弹性挡圈(3)，复位弹簧(4)套在压销(1)下部，并卡在轴用弹性挡圈(3)和传感器支座(5)中央设置的沉孔底部之间，复位弹簧(4)卡住压销(1)使压销(1)下端不伸出传感器支座(5)的下部。
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