[发明专利]以超重力旋转填充床纯化硅原料的制造方法

摘要

本发明提出以超重力旋转填充床纯化硅原料的制造方法。首先，液态硅原料与不纯物蒸汽及其它氯硅烷或硅烷在低于硅原料的沸点温度下，通过由有海绵状金属填充的第一超重力旋转填充床，不纯物蒸汽及其它氯硅烷或硅烷即从液态硅原料分离；其次，液态硅原料输入第二超重力旋转填充床，氧气也通入第二超重力旋转填充床以形成具较高沸点、包含不纯物的氢氧化硅复合物。最后，分馏以自硅原料除去包含不纯物的氢氧化硅复合物。从而达到更高纯度而无需花费时间及投资的多重分馏及高温反应的纯化工艺。

主权项

一种以超重力旋转填充床纯化硅原料的制造方法，其特征在于，将不纯物包含硼、磷等的一或多种不纯物，以氯化物、氢化物或包含硼、磷等的氯及氢的中间复合物的形式从该硅原料除去，至少包含下列步骤：将液态的该硅原料通入有海绵状金属填充的第一超重力旋转填充床，该第一超重力旋转填充床保持在低于该硅原料的沸点温度下，无任何气体通入该第一超重力旋转填充床，沸点低于该硅原料的不纯物氢化物及其它氯硅烷或硅烷蒸汽即从该液态硅原料分离，以帮浦抽出供再利用或丢弃，输出的该硅原料再通入第二超重力旋转填充床的硅原料入口；将液态的该硅原料通入有海绵状金属填充的第二超重力旋转填充床，该第二超重力旋转填充床保持在低于该硅原料的沸点温度下，氧气也从上外围通入第二超重力旋转填充床以形成不纯物的氢氧化硅复合物，不纯物氢化物及其它氯硅烷或硅烷蒸汽即再次从该液态硅原料分离，以帮浦抽出供再利用或丢弃；收集含有具较硅原料沸点高的不纯物的氢氧化硅复合物的液态硅原料；利用分馏步骤以自硅原料除去包含不纯物的氢氧化硅复合物。