[发明专利]预浓缩器热交换处理方法及装置无效
| 申请号： | 201010170844.2 | 申请日： | 2010-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN102243149A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;侯成诚;闫学峰;刘明;谢常青;周文;汪幸 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种预浓缩器热交换处理方法及其装置。所述预浓缩器热交换处理方法包括：用密封体对预浓缩器进行密封，以减少预浓缩器与外界的热交换；及将所述密封体设置的开口打开，引入传感器中的流动气体对预浓缩器降温。所述预浓缩器热交换处理装置包括：将所述预浓缩器设置在一密封体内，在所述密封体上设置开口。通过本发明提供的预浓缩器热交换处理方法及装置，通过对预浓缩器周围用多层耐高温板材进行密封，以此用来将预浓缩器与外界隔温，并在密封体两端设置开口，便于预浓缩器与外界热交换，从而减少传感器功耗，缩短传感器的测试周期，提高了传感器的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 浓缩器 热交换 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种预浓缩器热交换处理方法，其特征在于，包括：用密封体对预浓缩器进行密封，以减少预浓缩器与外界的热交换；及将所述密封体设置的开口打开，引入传感器中的流动气体对预浓缩器降温。
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