[发明专利]一种等离子体发生装置和产生等离子体的方法无效
| 申请号： | 201010168964.9 | 申请日： | 2010-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101835335A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 欧阳吉庭;李赏;何锋;彭祖林;缪劲松 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体发生装置和产生等离子体的方法，其中的等离子体发生装置具体包括：密封的真空仓，其包括一个进气口和一个出气口；位于真空仓内的半封闭阴极空腔，其外表面用绝缘介质覆盖；位于真空仓内的阳极金属板；负高压电源，其负极端与半封闭阴极空腔相连，接地端与阳极金属板相连；其中，所述半封闭阴极空腔的轴线与阳极金属板平行；在真空仓内通入工作气体时，调整所述半封闭阴极空腔与阳极金属板之间的距离，使得该距离与工作气体气压的乘积大于局域放电阈值。本发明用以产生符合要求的局域等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 发生 装置 产生 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体发生装置，其特征在于，包括：密封的真空仓，其包括一个进气口和一个出气口；位于真空仓内的半封闭阴极空腔，其外表面用绝缘介质覆盖；位于真空仓内的阳极金属板；负高压电源，其负极端与半封闭阴极空腔相连，接地端与阳极金属板相连；其中，所述半封闭阴极空腔的轴线与阳极金属板平行；在真空仓内通入工作气体时，调整所述半封闭阴极空腔与阳极金属板之间的距离，使得该距离与工作气体气压的乘积大于局域放电阈值。
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