[发明专利]投影光刻物镜的精密调整装置有效
| 申请号： | 201010149251.8 | 申请日： | 2010-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN102221737A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 方杨 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的投影光刻物镜的精密调整装置包括一多螺距调整螺钉，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱和一圆筒；所述圆筒套在所述圆柱上，所述圆柱比所述圆筒长；所述圆筒的外壁上设有外螺纹，所述圆筒的内壁上设有内螺纹；所述圆柱的外壁上设有外螺纹，所述圆柱外壁上的外螺纹与所述圆筒内壁上的内螺纹相匹配，转动所述圆柱，该圆柱在所述圆筒内旋转移动；所述圆筒外壁上的外螺纹的螺距大于所述圆柱外壁上的外螺纹的螺距。本发明的投影光刻物镜的精密调整装置具有多螺距，可以使用大螺距进行粗调，使用小螺距进行精调，调节速度快且精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 光刻 物镜 精密 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种投影光刻物镜的精密调整装置，其特征在于，包括一多螺距调整螺钉，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱和一圆筒；所述圆筒套在所述圆柱上，所述圆柱比所述圆筒长；所述圆筒的外壁上设有外螺纹，所述圆筒的内壁上设有内螺纹；所述圆柱的外壁上设有外螺纹，所述圆柱外壁上的外螺纹与所述圆筒内壁上的内螺纹相匹配，转动所述圆柱，该圆柱在所述圆筒内旋转移动；所述圆筒外壁上的外螺纹的螺距大于所述圆柱外壁上的外螺纹的螺距。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010149251.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新型隔音墙体板
- 下一篇：具有不对称摩擦块的盘式制动器
