[发明专利]一种低碳环保型超净高纯H2O2的生产方法

摘要

一种低碳环保型超净高纯H2O2的生产方法，首先将含杂质较多的工业级H2O2水溶液经过树脂膜分离系统，以除去有机物和阴阳离子；再将H2O2水溶液泵入EDI系统，以去除微量的金属离子；最后，将H2O2水溶液泵入纳滤膜过滤，滤除0.01μm以上的颗粒状物质；从而得到超净高纯的H2O2，其质量达到国际半导体设备与材料组织制定的SEMI-C12的质量标准。

主权项

一种低碳环保型超净高纯H2O2的生产方法，包括以下步骤：1)首先将含杂质较多的工业级H2O2水溶液经过树脂膜分离系统，以除去有机物和阴阳离子；2)再将步骤1)分离纯化后的H2O2水溶液泵入EDI系统，以去除微量的金属离子；3)最后，将经过步骤2)分离纯化后的H2O2水溶液泵入纳滤膜过滤，滤除0.01um以上的颗粒状物质；所述的步骤1)中树脂膜分离系统中起除去有机物和阴阳离子作用的分离组件，包括用耐腐蚀、耐氧化、耐酸碱的的含氟树脂制作的树脂膜；阴树脂膜在上面，中间一层隔离网(PDVF材料)，阳树脂膜在下面，每一个阴树脂膜、一个隔离网和一个阳树脂膜三者共同构成一个分离组；所述的树脂膜在使用前需要进行以下预处理：先用以纯水配兑的10％的硝酸浸泡树脂膜8小时；清洗后放进以纯水配兑的8％的盐酸浸泡8小时，清洗干净晾干即可使用；所述树脂膜分离系统设备工作的条件为：工作压力在0.2Mpa～0.4Mpa；温度控制在常温10-28℃；工作流量液(工作液流速)控制在400kg/h～500kg/h。