[发明专利]工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法有效
| 申请号： | 201010118909.9 | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN102193324A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 姜福君;张志平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/27 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法，该联调装置用于在线检测调整光刻机中工件台干涉仪和掩模台干涉仪，包括多面反射镜检测工装、分光棱镜组工装和多面反射镜反射工装；所述多面反射镜检测工装用于调整工件台干涉仪，以锁定所述工件台干涉仪的位置；所述分光棱镜组工装用于调整多面反射镜反射工装，以锁定所述多面反射镜反射工装相对所述分光棱镜组工装的位置；所述分光棱镜组工装联合所述多面反射镜反射工装检测所述掩模台干涉仪的出射光束与所述工件台干涉仪的出射光束的平行度，以锁定所述掩模台干涉仪的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 干涉仪 掩模台 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置，用于在线检测调整光刻机中工件台干涉仪和掩模台干涉仪，其特征在于，包括多面反射镜检测工装、分光棱镜组工装和多面反射镜反射工装；所述多面反射镜检测工装用于调整所述工件台干涉仪，以锁定所述工件台干涉仪的位置；所述分光棱镜组工装用于调整所述多面反射镜反射工装，以锁定所述多面反射镜反射工装的位置；所述分光棱镜组工装联合所述多面反射镜反射工装检测所述掩模台干涉仪的出射光束与所述工件台干涉仪的出射光束的平行度，以锁定所述掩模台干涉仪的位置。
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