[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 200920204779.3 | 申请日: | 2009-09-14 |
公开(公告)号: | CN201509291U | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 王凯 | 申请(专利权)人: | 常州美欧电子有限公司;深圳市美欧电子有限责任公司 |
主分类号: | H04R1/08 | 分类号: | H04R1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213167 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风,包括由底板和覆盖底板的上盖构成的保护结构和置于该保护结构内的带有背腔的换能器,该保护结构形成收容腔,在该保护结构上设有泄漏通道和接收外界声源的进声孔,进声孔与泄漏通道贯通,泄漏通道设有泄漏孔,收容腔通过该泄漏孔与泄漏通道贯通。该封装结构加大了麦克风的低频衰减量,能有效地减少低频噪声干扰,提高麦克风的频响特性。 | ||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
【主权项】:
一种MEMS麦克风,其包括:由底板和覆盖底板的上盖构成的保护结构和置于该保护结构内的带有背腔的换能器,该保护结构形成收容腔,其特征在于:在该保护结构上设有泄漏通道和接收外界声源的进声孔,进声孔与泄漏通道贯通,泄漏通道设有泄漏孔,收容腔通过该泄漏孔与泄漏通道贯通。
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