[发明专利]X射线传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200910195874.6 | 申请日： | 2009-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102024808A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 邱承彬;于祥国;孔杰;祁刚;金立波 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;H01L31/115;H01L31/0232;H01L21/82 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种X射线传感器及其制造方法，该X射线传感器包括多个感测单元，每一感测单元包括光电感应元件区和开关元件区，该光电感应元件区设置光电感应元件，该开关元件区设置开关元件、第一钝化层以及覆盖该开关元件的遮光层，该第一钝化层设置于该开关元件和该遮光层之间，该开关元件包括导电层，该导电层延伸至该光电感应元件区，该光电感应元件包括光电转换层和蚀刻保护层，该导电层和该蚀刻保护层分别形成于该光电转换层的两侧以形成该光电感应元件的两个电极，该遮光层延伸至该光电感应元件区并与该蚀刻保护层电性连接。本发明的X射线传感器的制造方法简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种X射线传感器，包括多个感测单元，每一感测单元包括光电感应元件区和开关元件区，该光电感应元件区设置有光电感应元件，该开关元件区设置有开关元件、第一钝化层以及覆盖该开关元件的遮光层，该第一钝化层设置于该开关元件和该遮光层之间，该开关元件包括导电层，该导电层延伸至该光电感应元件区，该光电感应元件包括光电转换层和蚀刻保护层，该导电层和该蚀刻保护层分别形成于该光电转换层的两侧以形成该光电感应元件的两个电极，其特征在于：该遮光层延伸至该光电感应元件区并与该蚀刻保护层电性连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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