[发明专利]位置测量装置和方法无效
| 申请号： | 200910194433.4 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN101634545A | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 张冲;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种位置测量装置和方法，包括光源模块、照明模块、投影光阑、投影光栅、投影成像模块、探测成像模块、探测光栅和探测模块，所述光源模块发出的光经过所述照明模块、所述投影光阑和所述投影光栅后，由所述投影成像模块将所述投影光栅成像于被测对象上，以形成光栅像，所述探测成像模块将所述光栅像成像于所述探测光栅以形成探测像，所述探测像和所述探测光栅叠加形成莫尔条纹，所述莫尔条纹被所述探测模块探测，其中所述投影光栅为粗光栅。本发明结构简单，以直接的方式测量，灵敏度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种位置测量装置，其特征在于包括光源模块、照明模块、投影光阑、投影光栅、投影成像模块、探测成像模块、探测光栅和探测模块，所述光源模块发出的光经过所述照明模块、所述投影光阑和所述投影光栅后，由所述投影成像模块将所述投影光栅成像于被测对象上，以形成光栅像，所述探测成像模块将所述光栅像成像于所述探测光栅以形成探测像，所述探测像和所述探测光栅叠加形成莫尔条纹，所述莫尔条纹被所述探测模块探测，其中所述投影光栅为粗光栅。
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