[发明专利]三氯氢硅差压耦合精馏系统及操作方法

摘要

本发明是三氯氢硅差压耦合精馏系统及操作方法。包括低压精馏塔、加压精馏塔、塔釜再沸器、塔顶冷凝器和辅助冷凝器；在两个精馏塔段之间设置有冷凝再沸器，加压精馏塔塔顶的汽相物料出口连接到冷凝再沸器加热介质入口，加热介质出口再返回到加压精馏塔塔顶；低压精馏塔塔底的液相物料出口连接到冷凝再沸器受热介质入口，受热介质出口再返回低压精馏塔塔底。原料采用不同的塔进料，所以可以采用两套工艺流程，工艺流程A采用低压塔作为前塔脱轻，加压塔进料需加进料泵；工艺流程B采用加压塔作为前塔脱轻，低压塔进料可无需加进料泵。本发明大幅降低生产成本和能耗，精馏节能40％左右。该技术显著提高多晶硅材料的市场竞争力。

主权项

1.三氯氢硅差压耦合精馏系统，包括低压精馏塔(2)、加压精馏塔(5)、塔釜再沸器(7)、塔顶冷凝器(3)和辅助冷凝器(6)；其特征是在两个精馏塔段之间设置有一个冷凝再沸器(4)，加压精馏塔塔顶的汽相物料出口连接到冷凝再沸器(4)加热介质入口，加热介质出口再返回到加压精馏塔(5)塔顶；低压精馏塔(2)塔底的液相物料出口连接到冷凝再沸器(4)受热介质入口，受热介质出口再返回低压精馏塔(2)塔底。