[发明专利]多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法有效
| 申请号： | 200910068556.3 | 申请日： | 2009-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101538044A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;王红星;刘雪艳;华超;李鑫钢 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D3/14 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 王 丽 |
| 地址： | 300072天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提出一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法。系统由精馏工段和回收精制工段组成；精馏工段有六个塔，回收精制工段有三个塔；精馏工段六个塔连接方式是依次由脱轻一塔、脱轻二塔、脱重塔、再脱轻塔、再脱重一塔和再脱重二塔连接；回收精制工段三个塔连接方式依次由脱低塔、脱高塔和产品精制塔连接。氯硅烷精馏技术装备是制约我国高质量生产多晶硅材料的主要技术瓶颈之一。本发明能够实现精馏工段进料和回收工段进料的质量流率弹性配比(1∶1～1∶5)的条件下达到分离要求和节能的目的。精馏工艺技术简化优化，提高分离效率，降低精馏产品能耗，提高系统运行的稳定性和可靠性，降低精馏产品磷、砷、硼和金属杂质含量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产过程 中的 三氯氢硅 分离 提纯 系统 操作方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离的系统，由精馏工段和回收精制工段组成；其特征是精馏工段有六个塔，回收精制工段有三个塔；精馏工段六个塔连接方式是依次由脱轻一塔、脱轻二塔、脱重塔、再脱轻塔、再脱重一塔和再脱重二塔连接；回收精制工段三个塔连接方式依次由脱低塔、脱高塔和产品精制塔连接。
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