[发明专利]软磁合金薄带磁芯螺线管微电感器件

摘要

一种微电子技术领域的软磁合金薄带磁芯螺线管微电感器件，包括：衬底、引脚、线圈、磁芯、粘结材料、聚酰亚胺绝缘材料，闭合的矩形磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈，线圈位于衬底上，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端连接引脚，线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过聚酰亚胺绝缘材料与磁芯隔开，所述的磁芯材料为铁基非晶纳米晶软磁合金薄带。本发明解决了以软磁合金薄带为磁芯的螺线管线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题，使得微电感器件的高频性能大大提高，具有广泛的用途。

主权项

1、一种软磁合金薄带磁芯螺线管微电感器件，其特征在于，包括：衬底(1)、引脚(2)、线圈(3)、磁芯(4)、聚酰亚胺绝缘层(6)、粘结层(9)，磁芯(4)为闭合的矩形，磁芯(4)上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈(3)，线圈(3)位于衬底(1)上，线圈(3)由底层线圈(5)、顶层线圈(8)通过连接导体(7)连接形成，线圈(3)的两端连接引脚(2)，磁芯(4)通过粘结层(9)粘贴于底层线圈(5)上，底层线圈(5)、顶层线圈(8)、连接导体(7)均通过聚酰亚胺绝缘层(6)与磁芯(4)隔开，所述的磁芯(4)的材料为铁基非晶纳米晶软磁合金薄带。