[实用新型]设有掺杂器的直拉硅单晶炉有效
| 申请号： | 200820154630.4 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN201284384Y | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 施美生 | 申请（专利权）人： | 上海九晶电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;F27B17/00 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘粉宝 |
| 地址： | 201617*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种设有掺杂器的直拉硅单晶炉，包括直拉单晶炉本体，单晶炉本体包括坩埚、炉膛保温盖，所述直拉单晶炉本体设置掺杂器，所述掺杂器包括：用于盛装掺杂元素的圆柱型的料斗；所述料斗通过棒连接手柄。所述棒与料斗的侧面或底部采用焊接方式连接；所述手柄与棒通过穿过固定孔的定位销连接。本实用新型具有方便、安全、正确，对炉膛内壁沾污较轻，且掺杂量少的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 设有 掺杂 直拉硅单晶炉 | ||
【主权项】：
1、一种设有掺杂器的直拉硅单晶炉，包括直拉单晶炉本体，直拉单晶炉本体包括坩埚、炉膛、石墨热场、保温盖、掺杂器及炉膛侧壁设置的安装孔，其特征在于：所述炉膛侧壁设置烟斗式的掺杂器，所述掺杂器包括：用于盛装掺杂元素的圆柱型的料斗；所述料斗与棒连接，所述棒穿过炉膛侧壁，所述棒伸出炉膛侧壁的末端连接手柄。
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