[实用新型]三位一体多晶硅定向结晶炉无效
申请号: | 200820059254.0 | 申请日: | 2008-05-30 |
公开(公告)号: | CN201241198Y | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
发明(设计)人: | 潘健武 | 申请(专利权)人: | 上海今科新能源材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C01B33/03;B22D27/04 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 胡美强 |
地址: | 200233上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种三位一体多晶硅定向结晶炉,包括:坩埚(7);所述的坩埚(7)是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚;在坩埚(7)的二侧安置感应圈(6);在坩埚(7)的上部安置一个等离子枪(9);所述的坩埚(7)、感应圈(6)以及等离子枪(9)的前端安置在一个密封的炉(20)中;在容器(20)的上端侧旁设置一个加料口(11);本实用新型的有益效果是:可以对硅材料实施提纯工艺,又具有多晶硅定向结晶铸锭的功能。 | ||
搜索关键词: | 三位一体 多晶 定向 结晶 | ||
【主权项】:
1. 一种三位一体多晶硅定向结晶炉,包括:坩埚(7);其特征在于:所述的坩埚(7)是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚;在坩埚(7)的二侧安置感应圈(6);在坩埚(7)的上部安置一个等离子枪(9);所述的坩埚(7)、感应圈(6)以及等离子枪(9)的前端安置在一个密封的炉(20)中;在容器(20)的上端侧旁设置一个加料口(11)。
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