[实用新型]三位一体多晶硅定向结晶炉无效

专利信息
申请号: 200820059254.0 申请日: 2008-05-30
公开(公告)号: CN201241198Y 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: 潘健武 申请(专利权)人: 上海今科新能源材料科技有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06;C01B33/03;B22D27/04
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 代理人: 胡美强
地址: 200233上*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及一种三位一体多晶硅定向结晶炉,包括:坩埚(7);所述的坩埚(7)是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚;在坩埚(7)的二侧安置感应圈(6);在坩埚(7)的上部安置一个等离子枪(9);所述的坩埚(7)、感应圈(6)以及等离子枪(9)的前端安置在一个密封的炉(20)中;在容器(20)的上端侧旁设置一个加料口(11);本实用新型的有益效果是:可以对硅材料实施提纯工艺,又具有多晶硅定向结晶铸锭的功能。
搜索关键词: 三位一体 多晶 定向 结晶
【主权项】:
1. 一种三位一体多晶硅定向结晶炉,包括:坩埚(7);其特征在于:所述的坩埚(7)是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚;在坩埚(7)的二侧安置感应圈(6);在坩埚(7)的上部安置一个等离子枪(9);所述的坩埚(7)、感应圈(6)以及等离子枪(9)的前端安置在一个密封的炉(20)中;在容器(20)的上端侧旁设置一个加料口(11)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海今科新能源材料科技有限公司,未经上海今科新能源材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200820059254.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top