[发明专利]用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200810140200.1 | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101367671A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 胡广达;闫静;武卫兵;杨长红;程玲;殷在梅;王金翠 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C04B41/52 | 分类号： | C04B41/52 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人： | 李桂存 |
| 地址： | 250022山东省济南市市中*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于铁电复合薄膜材料技术领域，具体涉及一种用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜材料及其制备方法。本发明采用化学溶液法结合层层快速退火工艺，制备在衬底材料上生长作为底层的高(110)－或(111)－取向的BiFeO3薄膜和作为表层的高居里点铋系层状钙钛矿薄膜，其中高(110)－或(111)－取向的BiFeO3薄膜，厚度为0.1μm～1μm，高居里点铋系层状钙钛矿薄膜，厚度为10nm～60nm。本发明在500℃～600℃的退火温度下得到了具有大剩余极化、低漏电流、抗疲劳性能好和高压电常数的无铅双层铁电复合薄膜，在未来的高温压电器件中具有良好的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高温 压电 器件 双层 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜，其特征在于：在衬底材料上生长作为底层的高(110)-或(111)-取向的BiFeO3薄膜和作为表层的高居里点铋系层状钙钛矿薄膜。
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