[发明专利]一种提高氧化锌薄膜紫外光致发光强度的方法无效
| 申请号： | 200810111675.8 | 申请日： | 2008-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN101281949A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 蒋毅坚;赵艳 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/428;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100124*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种提高氧化锌薄膜紫外光致发光强度的方法属于半导体光电材料领域。现有提高氧化锌薄膜紫外光致发光强度的方法存在工艺流程复杂、不易控制，耗时较长等问题。本发明通过激光辐照预处理后的氧化锌薄膜，从而提高氧化锌薄膜室温下的紫外光致发光强度；其中，激发波长为248nm；电控旋转台转动速度为10～40°/s；脉冲频率为1～5Hz；激光输出能量密度为250～650mJ/cm2；激光脉冲数为30～100。本发明方法具有时间短、可控性强、重复性高、操作简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 氧化锌 薄膜 紫外 光致发光 强度 方法 | ||
【主权项】：
1、一种提高氧化锌薄膜紫外光致发光强度的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)氧化锌薄膜的预处理；2)将预处理后的氧化锌薄膜固定在电控旋转台上，设定电控旋转台转动速度为10～40°/s；3)选择准分子激光波长248nm，设置脉冲频率为1～5Hz；4)调整光路，使得光斑位于薄膜样品中心，调节辐照在薄膜样品上的激光光斑大小和激光输出能量，使作用于薄膜样品上的激光功率密度为250～650mJ/cm2；5)薄膜样品固定在电控旋转台时，薄膜样品和激光的位置均在转台的中心，设定激光脉冲数为30～100，转动样品转台，激光辐照。
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