[发明专利]化学放大型正性抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200810099591.7 | 申请日： | 2008-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101308328A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 秋田诚;末次益实;桥本和彦 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元；(ii)由式(II)表示的聚合单元；和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，其中所述的(A)树脂包含(i)由式(I)表示的聚合单元：![]()
其中R10表示氢原子或C1-C4烷基，R11表示C1-C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数，并且当q是1或2时，多个R11可以相同或不同，(ii)由式(II)表示的聚合单元：![]()
其中R1表示氢原子或甲基，R2表示C1-C8烷基，并且环X表示脂环烃基，和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元：![]()
式(III)中，R3表示氢原子或C1-C4烷基，并且R4、R5、R6、R7和R8各自独立地表示氢原子，C1-C4烷基，C1-C4烷氧基或羟基；![]()
式(IV)中，R9表示氢原子或甲基，n1表示0或1，并且Ra表示可以被选自C1-C6烷基和羟基中的至少一个取代的蒽基。
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