[发明专利]一种氮化钛膜层的退除液及该膜层的退除方法无效
| 申请号： | 200810093480.5 | 申请日： | 2008-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101570860A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 薛文砚;陈云 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/32 | 分类号： | C23F1/32;C09K13/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘红梅;王凤桐 |
| 地址： | 518118广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氮化钛膜层的退除液，所述退除液为含有过氧化氢、氢氧化物和稳定剂的水溶液，所述稳定剂为水溶性柠檬酸盐、水溶性焦磷酸盐和水溶性乙二胺四乙酸盐中的一种或几种。还提供了该氮化钛膜层的退除方法。本发明提供的氮化钛膜层的退除液以及该膜层的退除方法，使退除氮化钛膜层后的基材表面没有腐蚀，不损伤基材表面，而且可以稳定、均匀、彻底地除去氮化钛膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 钛膜层 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氮化钛膜层的退除液，其特征在于，所述退除液为含有过氧化氢、氢氧化物和稳定剂的水溶液，所述稳定剂为水溶性柠檬酸盐、水溶性焦磷酸盐和水溶性乙二胺四乙酸盐中的一种或几种。
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