[发明专利]热处理装置、控制常数的自动调整方法和存储介质

摘要

本发明提供热处理装置，其中，控制部包括：规则表，使处理气氛升温到目标值时的温度特性项目的预测变化量和PID常数的变化率对应而生成；执行机构，反复执行根据温度检测部的温度检测值取得温度曲线，根据该温度曲线，求取温度特性项目的实测值和目标值的差分的步骤，当该差分偏离允许范围且比规定值大时，参照规则表，通过与对应于差分的温度特性项目的预测变化量对应的变化率，变更PID常数，进行再设定步骤，直至差分达到允许范围内。控制部还具有在温度特性项目的实测变化量和上一次循环中预测的该温度特性项目的预测变化量间存在差异时，根据该实测变化量，更新规则表中的PID常数和该温度特性项目的预测变化量的对应关系的更新机构。

主权项

1.一种热处理装置，其特征在于，包括：收纳处理气氛和被处理体的反应容器；设在所述反应容器内，加热所述处理气氛的加热机构；检测利用所述加热机构加热的所述处理气氛的温度的温度检测部；和通过PID控制来控制所述加热机构的控制部，其中，所述控制部包括：规则表，其是使处理气氛升温到目标值时的温度特性项目的预测变化量和PID常数的变化率对应而生成的；执行机构，反复执行在设定PID常数后，利用所述加热机构将处理气氛升温到目标温度，同时根据所述温度检测部的温度检测值，取得温度曲线，根据该温度曲线，求取温度特性项目的实测值和目标值的差分的步骤，和当该差分偏离允许范围且比规定值大时，参照所述规则表，根据与对应于该差分的温度特性项目的预测变化量对应的变化率，变更PID常数，并进行再设定的步骤，直至所述差分达到允许范围内；和更新机构，其在参照所述规则表变更PID常数的温度特性项目的实测变化量和上一次循环中预测的该温度特性项目的预测变化量之间存在差异时，根据该实测变化量，更新所述规则表中的PID常数和该温度特性项目的预测变化量的对应关系。