[发明专利]平板显示器制造设备的起模针模块有效
| 申请号： | 200810085709.0 | 申请日： | 2006-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101261953A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯寿;李祯彬;黄荣周;孙亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龙泰 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种起模针模块，为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入，引发异常放电的现象，该起模针模块具备起模针，该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 显示器 制造 设备 起模针 模块 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，包括：下部电极，基板置于其上；以及起模针模块，具有起模针，所述起模针穿过形成于所述下部电极上的穿针孔上下运动以支撑所述基板，以及固定块，所述固定块插入并固定到所述穿针孔的上部以打开/闭合所述穿针孔的上部，其中所述固定块具有与所述起模针的上端相对应的细孔，所述起模针的上端穿过所述细孔上下运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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