[发明专利]具有倾斜电极的微机械器件有效
| 申请号： | 200810081805.8 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101284642A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 丹尼斯·容;克里斯蒂安·德拉伯;哈拉尔德·琛克;提诺·詹德纳;托马斯·克洛泽 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种微机械器件，包括微机械功能结构，所述微机械功能结构可以从静止位置关于主轴偏转；可动电极，所述可动电极安装在微机械功能结构上；以及固定电极，所述固定电极能够在静止位置围绕倾斜轴相对于可动电极倾斜，其中倾斜轴与主轴平行或者与主轴等同。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 倾斜 电极 微机 器件 | ||
【主权项】：
1.一种微机械器件，包括：微机械功能结构(1)，所述微机械功能结构(1)能够从静止位置绕主轴(13)偏转；可动电极(3)，所述可动电极(3)安装在所述微机械功能结构(1)上；以及固定电极(4)，所述固定电极(4)能够在静止位置围绕倾斜轴(10)相对于可动电极(3)倾斜，其中所述倾斜轴(10)与主轴(13)平行或者与主轴(13)等同。
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