[发明专利]基板的制造方法无效
| 申请号： | 200810081511.5 | 申请日： | 2008-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN101515096A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 李仲明;吴恒忠;陈俊仁;洪建兴;黄坤源;陈晋升 | 申请（专利权）人： | 中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;G02F1/1335;G02F1/1333;H01L21/78;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈 亮 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板的制造方法，包括下列步骤：首先，提供一第一母基板，其至少具有两个第一对位标志。接着，测量这些第一对位标志之间的距离，以得出一第一距离。之后，于第一母基板上形成多个阵列单元。然后，分割第一母基板。此外，测量第一对位标志之间的距离，以得出一第二距离。接着，计算第一距离与第二距离的差值，以得出一补偿值。之后，通过补偿值调整第一对位标志之间的距离，以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。然后，于第二母基板上形成阵列单元。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板的制造方法，包括：提供一第一母基板，具有多个阵列单元预定区，且该第一母基板至少具有两个第一对位标志；测量该些第一对位标志之间的距离，得出一第一距离；沿该些阵列单元预定区，分割该第一母基板；测量该些第一对位标志之间的距离，得出一第二距离；计算该第一距离与该第二距离的差值，得出一补偿值；以及通过该补偿值调整该些第一对位标志之间的距离，以于一第二母基板上形成至少两个第二对位标志。
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