[发明专利]飞秒激光在晶体表面自组织生长微纳米结构的方法无效
| 申请号： | 200810037730.3 | 申请日： | 2008-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN101319347A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 钟敏建;马洪良;马宁华;叶果;郭青天 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C30B1/02 | 分类号： | C30B1/02;C30B28/02;C30B33/02;G01N21/41 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用飞秒激光在晶体表面诱导出自组织生长微纳米结构的新方法，属飞秒激光应用技术领域。本发明的特点是利用飞秒激光器系统装置来进行对不同晶体利用飞秒激光在其表面诱导出自组织生长长程纳米结构及对该结构的方向取向的控制定。该飞秒激光器系统产生的激光波长为800nm，脉冲宽度为120fs，重复频率为250KHz的飞秒激光，脉冲最大能量为6μJ，光强分布为高斯分布的线偏振光。通过扫描电子显微镜可看到该纳米结构分布在整个激光辐照区域；对于线偏振飞秒激光，还可看到具有周期性结构的纳米光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 晶体 表面 组织 生长 纳米 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光在晶体表面自组织生长微纳米结构的方法，其特征在于：利用飞秒激光器系统，其波长为800nm，脉冲宽度为120fs，重复频率为250KHz的飞秒激光；从激光器再生放大器中发出激光的脉冲最大能量为6μJ，光强分布为高斯分布的线偏振光；利用中性滤色片连续调节激光能量，通过λ/4波片后为圆偏振光；然后通过起偏器调节激光的偏振方向；利用20倍显微物镜将激光全聚到晶体表面，用快门控制飞秒激光辐照时间，飞秒激光在所述晶体表面诱导出自组织生长长程纳米结构。
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