[发明专利]束源炉中源材料熔化时对应热偶温度的测量方法有效
| 申请号： | 200810035446.2 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101311299A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 龚谦;王海龙;徐海华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C30B23/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种分子束外延(MBE)技术中测量束源炉中源材料熔化时对应源炉热偶温度的测量方法。其特征在于测定步骤是测量出束源炉升温时的热偶温度——功率曲线；测量出束源炉降温时的热偶温度——功率曲线；将升温时和的热偶温度——功率曲线上源材料开始熔化的对应温度和降温时的热偶温度、功率曲线上源材料开始凝固的对应温度进行比较，从而得出源材料熔化时对应束源炉中热偶的温度。本发明是利用分子束外延设备源炉中源材料在加热熔化和降温凝固过程中功率曲线在熔化与凝固温度附近会出现相应波动的实验现象，通过分析比较波动出现的位置精确定出束源炉中源材料熔化时对应的束源炉中热偶温度数值。所提供的测定方法对MBE技术在实际中的应用具有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 束源炉中源 材料 熔化 对应 温度 测量方法 | ||
【主权项】：
1、分子束外延技术中测量束源炉中源材料熔化时对应热偶温度数值的方法，其特征在于具体步骤是：(a)测量出束源炉升温时的热偶温度-功率曲线；(b)测量出束源炉降温时的热偶温度-功率曲线；(c)将升温时和的热偶温度--功率曲线上源材料开始熔化的对应温度和降温时的热偶温度-功率曲线上源材料开始凝固的对应温度进行比较，从而得出源材料熔化时对应束源炉中热偶的温度；
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