[发明专利]激光玻璃机械化学抛光方法无效
| 申请号： | 200810034960.4 | 申请日： | 2008-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN101249625A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张宝安;钱红斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;C09G1/02;C03C15/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种激光玻璃的化学机械抛光方法，该方法包括以下关键：在精磨和抛光过程中采用不同粒度的磨料精分工序并精确控制加工去除量以保证消除上道工序产生的破坏层；在工序间采用腐蚀性溶液对加工表面和亚表面进行腐蚀，使得破坏层“疏松”；在抛光剂中添加pH值调节剂，改变抛光效率。对加工表面和亚表面腐蚀提高了表面加工的质量和后道工序的加工效果。本发明提高了激光玻璃表面加工的粗糙度，在实施例中采用该化学机械抛光方法获得了表面粗糙度均方根为5埃的超光滑激光玻璃表面。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 玻璃机械 化学抛光 方法 | ||
【主权项】：
1、一种激光玻璃的化学机械抛光方法，其特征在于：(一)对工序进行细分，在不同的工序采用不同的研磨和抛光磨料，严格控制工序的材料去除量；(二)在工序间用腐蚀性溶液对上道工序产生的缺陷进行腐蚀；(三)在抛光液中添加酸碱度调节剂，控制抛光液的酸碱度。
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